隆基绿能申请硅片无水清洗专利，实现了对硅片的高效清洗
创始人
2024-01-13 15:52:55
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金融界2024年1月13日消息，据国家知识产权局公告，隆基绿能科技股份有限公司申请一项名为“一种硅片的无水清洗方法”，公开号CN117393417A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种硅片的无水清洗方法，其中，方法包括：将待清洗的硅片依次经两亲性有机溶剂及极性有机溶剂清洗；在经极性有机溶剂清洗后，将所述硅片经等离子清洗，获得清洁硅片。本申请实施例所提供的硅片的无水清洗方法，全程无需进行水清洗及烘干操作，实现了对硅片的高效清洗，获得表面更为洁净的硅片。
来源：金融界
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